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蔡司工業顯微鏡可進行半導體失效分析


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在半導體行業中,失效分析是保障產品質量與可靠性的關鍵環節。隨著半導體技術不斷朝著小型化、高性能化發展,對失效分析的精度和效率要求也日益提高。蔡司工業顯微鏡憑借其先進的技術和卓越的性能,在半導體失效分析領域發揮著舉足輕重的作用。?


蔡司工業顯微鏡技術助力半導體失效分析
1.高分辨率成像洞察微觀世界?
蔡司工業顯微鏡具備極高的分辨率,能夠清晰呈現半導體器件的微觀結構。在半導體制造過程中,細微的缺陷如晶體管的短路、斷路,芯片內部的線路斷裂或橋接等,都可能導致器件失效。蔡司顯微鏡的高分辨率成像技術,可將這些微小缺陷放大至清晰可見,幫助工程師精準定位問題所在。例如,通過其高倍物鏡和先進的光學系統,能夠分辨出納米級別的特征,這對于檢測先進制程芯片中的超細微缺陷至關重要。?


蔡司工業顯微鏡


2.多種成像模式適應復雜分析需求?
它擁有多種成像模式,包括光學成像、電子成像等。光學成像模式可用于觀察半導體器件的表面形貌,快速發現明顯的缺陷,如劃痕、腐蝕等。而電子成像模式,如掃描電子顯微鏡(SEM)成像,能夠深入樣品內部,揭示內部結構的細節,對于分析芯片內部的層間連接、封裝缺陷等問題具有強大優勢。此外,還有諸如電子通道襯度成像(ECCI)等特殊成像模式,可用于分析半導體材料中的位錯等晶體缺陷,為全面深入的失效分析提供豐富信息。?

3.先進的軟件解決方案提升分析效率與精度?
蔡司公司配套了先進的軟件解決方案,深度融合 AI 技術。在圖像處理方面,AI 降噪技術可優化 SEM 短掃描圖像質量,在縮短掃描時間提高分析效率的同時,通過深度學習算法顯著提升圖像的信噪比,保留圖像細節,避免因掃描時間縮短導致的圖像質量下降。同時,基于深度學習的 DeepScout 功能,能將三維 X 射線無損分析中局部高分辨率掃描數據作為訓練數據,將大視野掃描時的低分辨率圖像智能升級為高分辨率圖像,實現大視野與高分辨率的完美結合,大大提升了分析效率。在缺陷檢測與分類方面,機器學習算法可智能識別圖像中的復雜背景,精準分割出位錯、表面顆粒物等關鍵缺陷特征,并自動對缺陷進行分類和計算缺陷密度,為半導體質量控制提供有力數據支持。?
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